隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，產(chǎn)品性能的不斷提高和改善，對(duì)半導(dǎo)體的表面質(zhì)量要求越來(lái)越嚴(yán)格，迫使行業(yè)內(nèi)的清洗裝置也在逐步的改善。現(xiàn)有的半導(dǎo)體清洗花籃，將半導(dǎo)體晶片放置在清洗花籃中，通常為保證半導(dǎo)體晶片能充分接觸清洗液，清洗花籃的槽齒與外界都是連通的，槽齒之間無(wú)加強(qiáng)筋等，強(qiáng)度較低，易破碎，而且現(xiàn)有清洗花籃的結(jié)構(gòu)使得清洗空間的通風(fēng)性不好，清洗液的流動(dòng)也不好。

PFA花籃 / 清洗花藍(lán) / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍晶圓盒 為 為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器，可依照客戶需求設(shè)計(jì)，全氟烷氧基材質(zhì)有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性，耐高溫200~220℃、耐酸耐堿耐腐蝕(強(qiáng)酸、強(qiáng)氟酸、強(qiáng)堿)，主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。